洁净室供气行业方案

洁净室供气按接触与否分级：晶圆与面板吹干走 1.1.1 等级的无油洁净专线，风淋与气闸用 1.3.1 等级即可。管路采用不锈钢并减少接头，末端两级过滤加在线露点与微粒监测，数据留痕是现场审核最关键的一环。

用气场景

关键参数

1、洁净供气按接触与否分级

洁净室的供气不能一刀切。与晶圆、面板直接接触的吹干与传片用气，要求达到 1.1.1 等级且露点低于 -40 °C；设备内腔的吹扫用气要求相近；而风淋、气闸与一般气动执行用 1.3.1 等级即可。若全部按最高等级配置，设备投入与再生能耗都会被推高；若全部按低配，则良率风险无法接受。

分级的边界应写进气路图并做明显标识，每条支路设独立阀门与取样口，这样日常检测与审核都能对号入座。分级供气还有一个实际好处：关键支路的滤芯更换与露点监测可单独执行，不必影响整网运行。分级标识应包含设计压力、目标露点、含油等级与取样口编号，新设备接入前按标识核对支路，可避免接错造成的品质事故。竣工时按支路逐条实测并留存原始记录，后续复核与审计都能据此开展。

2、管路与末端设计

洁净供气的管路设计与机组同等重要。主支管采用不锈钢材质并做钝化处理，尽量减少接头、三通与盲段，因为每个接头都是微粒积聚点；管路按坡度布置并在低点设自动排水，停产期间用干燥洁净空气吹扫置换，防止管内残留。管路施工应由具备洁净管道经验的队伍完成，焊接与切割后做钝化处理并记录；吹扫与打压试验按文件执行，验收时抽查内壁清洁度，确保管路本身不会成为微粒来源。

末端采用两级过滤：第一级拦截油雾与较大微粒，第二级为 0.01 μm 级精滤，滤芯带压差指示并保留取样阀。取样点应设在离机组最远、最高与最低的位置，这样测出的结果才代表整网最差情况，而不是平均状态。过滤器的更换以压差指示为准并结合使用时间，更换时先清洁外壳、再按流向安装，避免二次污染；备用滤芯应原包装存放于洁净环境，开封后一次性使用，这些细节决定末端过滤的实际效果。

3、监测、冗余与验收

在线监测是洁净供气的关键：主管与关键支路安装露点仪与油分检测接口，数据接入厂务或能源管理系统并留痕，超限自动报警。微粒与含油量按周期送检，检测报告与滤芯更换记录一并归档，构成审核时的完整证据链。报警阈值应在调试阶段按工艺要求设定并写入厂务系统，超限记录自动保存；微粒与油分的第三方检测报告按周期归档，与在线数据互相印证，出现良率波动时可迅速判断是否与气源相关。

可靠性按 N+1 配置，储气罐按 2~3 分钟排气量设计，切换压力带控制在 0.05 MPa 以内，避免瞬时跌落触发设备报警与压差梯度破坏。验收时应实测比功率、较不利末端压降与目标露点三项指标。上海复方机电提供免费选型测算与年度服务合约。三项数据的实测方法与合格判据应写入合同与验收条款。

推荐配置

常见问题